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Semiconductor

Spare part

HPS

Part no : 19070019CE
Maker : LAM

ALLIANCE BOTTOM ELECTRODE

Part no : 715-330180-001
Maker : LAM

CPU PCB

Part no : 810-017034-005
Maker : LAM

GASBOX ADEPTER PCB (DIGITAL TYPE)

Part no : 810-803205-001
Maker : LAM

Reliance Robot

Part no : 017-0266-01
Maker : Brooks Automation

Magna7 ROBOT

Part no : 003-1600-32
Maker : Brooks Automation

Magna7 ROBOT

Part no : 003-1600-32
Maker : Brooks Automation

Aqutran ROBOT

Part no : 002-7090-04
Maker : Brooks Automation

ROBOT

Part no : 001-1951-06C19
Maker : Brooks Automation

ALIGNER MOTOR

Part no : 00-S016-049
Maker : Brooks Automation

ROBOT

Part no : ATM-107B-1-S-CE-S293
Maker : BROOKS-PRI

Magna7 POWER PACK

Part no : 002-4037-03
Maker : Brooks Automation

ALIGNER

Part no : PRE-201B-CE
Maker : BROOKS-PRI

ROBOT CONTROLLER

Part no : ESC-212B-S293E
Maker : BROOKS-PRI

TURBO PUMP

Part no : ATH-1600M
Maker : ALCATEL

TURBO PUMP

Part no : STP-H1301LB / STP-H1301L1
Maker : EDWARDS

GROOVE PUMP

Part no : TS443BW
Maker : OSAKA

TURBO PUMP

Part no : H301C
Maker : SEIKO SEIKI

TURBO PUMP CONTROLLER

Part no : ACT-1300/1600M
Maker : ALCATEL

TURBO PUMP CONTROLLER

Part no : SCU-1500
Maker : EDWARDS

TURBO PUMP CONTROLLER

Part no : SCU-H1301L / STP-H1301L1B / STP-H301C
Maker : SEIKO SEIKI

GROOVE PUMP CONTROLLER

Part no : TC-440C
Maker : OSAKA

VAT VALVE CONTROLLER

Part no : PM5
Maker : VAT

RF GENERATOR

Part no : 3156113-003
Maker : APEX

RF GENERATOR

Part no : 3155089-004
Maker : ADVANCE

ALIGNER CONTROLLER

Part no : 001-4130-03
Maker : Brook Automation

VAT VALVE

Part no : 14040-PE24-0006/0714
Maker : VAT

ISOLATION VALVE

Part no : 796-099720-001
Maker : LAM

COOL STATION

Part no : _
Maker : Brooks Automation

Platform

Part no : _
Maker : Brooks Automation

R-MOTOR

Part no : A1934001
Maker : LAM

CDM

Part no : TT1ENR2-1-TVS-ES-BROOKS8
Maker : Brooks Automation

BOTTOM MATCH

Part no : 853-3300751-024(2ea) 853-3300751-021(1ea)
Maker : BROOKS AUTOMATION

VCE BOARD

Part no : 002-1100-06
Maker : BROOKS

PCB

Part no : 001-3401-02
Maker : LAM

PCB

Part no : 001-3401-04
Maker : LAM

GAS BOX ADEPTER PCB

Part no : 810-803205-001 / 810-803205-002 (DIGTAL TYPE)
Maker : LAM

PCB

Part no : 810-17061-1
Maker : LAM

MUX PCB

Part no : 810-492571-004
Maker : LAM

NODE PCB

Part no : 810-800256-004
Maker : LAM

ANAFAZE PCB

Part no : 10611-00
Maker : LAM

INTERLOCK PCB

Part no : 810-495586-001
Maker : LAM

ADRESS PCB

Part no : 810-017388-003
Maker : LAM

ADIO PCB

Part no : 810-017031-004
Maker : LAM

CPU

Part no : 13105-0102
Maker : LAM

ENGENUITY PCB

Part no : 13105-0102
Maker : LAM

LOADLOCK PCB INTERFACE

Part no : 710-492740-001
Maker : LAM

TRANSFER CHAMBER CPU PCB

Part no : 84-8964B01B
Maker : LAM

8"NATCH ESC

Part no : 718-094523-282
Maker : LAM

9400PTX GAS INJECTION RING

Part no : 715-330984-001
Maker : LAM

9600PTX GAS INJECTION RING

Part no : 715-330889-002
Maker : LAM

EXLAN TOP CONFINEMENT RING

Part no : 716-443083-001
Maker : LAM

EXLAN BOTTOM CONFINEMENT RING

Part no : 716-443803-001
Maker : LAM

EXLAN UPPER QUARTZ RING

Part no : 716-443090-002
Maker : LAM

CATHODE

Part no : 839-011907-111
Maker : LAM

ALLIANCE CHAMBER LINER

Part no : 715-330825-007
Maker : LAM

ALLIANCE PUMP LINER

Part no : 839-495013-001
Maker : LAM

ALLIANCE PUMP LINER

Part no : 714-495015-001
Maker : LAM

ALLIANCE CHAMBER 중간 LINER

Part no : 715-495014-001
Maker : LAM

ALLIANCE Chamber liner hold bar

Part no : 715-495014-001
Maker : LAM

Insulator ring

Part no :
Maker : LAM

HPS

Part no : 715-495014-001
Maker : LAM

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