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Semiconductor

Refurbish & Modify
Maker Type Model Note
LRC Rainbow 4420, 4520 Overhaul
Standalone 9400SE, 9600SE Refurbish
Alliance 9400SE, 9400PTX, 9400DFM, 9600PTX EXELAN HPT Conversion
Part's Modify

SHUTTER MODIFY(300mm SEMES)

SHUTTER MODIFY(300mm SEMES)

개조/개선

◆ ESC Dechucking system(200mm LAM EXELAN/HPT)
Process 진행 완료후 Sticking으로 인한 Wafer broken및 Sliding현상을 방지하기 위한 system으로 S社 200mm라인 전장비 적용되었음

◆ 300mm LAM LOADPORT LATCH CYLINDER & LATCH HOLDER
LAM 설비에 들어가는 BLOOKS 사 LOADPORT에 WAFER FOUP OPEN/CLOSE 시 관여하는 LATCH & LATCH 구동 CYLINDER
기존의 SINGLE CYLINDER에서 DUAL CYLINDER로 개조개선 진행 된 제품
OEM CYLINDER 잦은 AIR LEAK로 인하여, 구동 ERROR 발생하여 개발 진행

◆ 300mm LAM He Iso Valve Overhaul
He Iso Line 쪽에 들어가는 Valve Kit으로 C/B 내부 고열 및 구동 마찰로 인하여 Valve 개폐기 내부 O-ring 손상으로 AIR LEAK 발생 및 동작 구동 ERROR발생
그로 인하여, 개폐기 내부 Ovehaul 진행 및 CAP 개조개선 ( 구동 감지 센서에 LED LAMP 장착되어, 육안으로도 센싱 상태 확인 가능) 진행
OEM MAKER VALVE 대비 우수한 비용 절감 효과 및 Valve 구동 여부 육안 확인 가능
자사 전용 JIG 및 He Detector 보유로 Leak Confirm 및 구동 Test 진행 후 빠른 납품 가능 (KIYO E/X , KIYO 45, D/S, F/X 등 다수 모델 가능)

Overhaul 전

Body 내부

Flange

Flange

Angle 내부

Disassemble

Overhaul 후

Body 내부

Flange

Flange

Angle 내부

Assemble

Leak Check

 

Flange

Flange

Body (Open)

Body (Close)

CAP 교체
보유 시설

- Clean room 및 Air shower
- Vacuum system (Dry pump,이동식 Oil pump)
- Cooling system (PCW,DI)
- Gas supply system (Air,N2,He,CF4,O2등)
- 장비용 전원 system (3Φ 208V+N)
- He leak detector

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